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            集成電路用氧化層緩沖腐蝕液 - 氟化銨和氫氟酸含量的測定
            來源: KEM China   發布時間: 2021-04-28 08:18   1195 次瀏覽   大小:  16px  14px  12px
            SJ/T 11507-2015 集成電路用氧化層緩沖腐蝕液 - 氟化銨和氫氟酸含量的測定


            SJ/T 11507-2015 集成電路用氧化層緩沖腐蝕液

            范圍
            本標準規定了集成電路用氧化層緩沖腐蝕液的術語、性狀、技術要求、試驗方法、檢驗規則和包裝、標志、儲存、運輸等。
            本標準適用于集成電路用氧化層緩沖腐蝕液。
            本標準不涉及使用安全性問題。本標準的使用人應負責建立適當的安全健康條款及使用范圍的限制。

            術語和定義
            超純硝酸 ultrapure nitric acid
            金屬離子含量不大于1μg/L的硝酸。

            性狀和技術要求
            性狀
            本腐蝕液為無色透明液體,呈酸性,是氟化銨與氫氟酸按一定比例混合的緩沖溶液,氟化銨含量允許偏差為±0.4%,氫氟酸含量允許偏差為±0.25%。
            技術要求
            氧化層緩沖腐蝕液的技術要求應符合表1的規定:






            試驗方法
            氟化銨和氫氟酸含量的測定
            試驗儀器
            自動電位滴定儀: 配置氟離子選擇性電極和參比電極。

            試劑:
            甲醛: 40%。
            中性甲醛溶液: 量取20mL甲醛溶液,加20mL水,加2滴酚酞指示劑,用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定至溶液呈粉紅色。使用前制備。
            氫氧化鈉溶液: 0.1mol/L。
            氫氧化鈉標準滴定溶液: c(NaOH)=1mol/L。
            酚酞指示劑:?10g/L。

            滴定法(仲裁方法)
            氫氟酸(HF)含量測定
            稱取適量(精確至0.0001g)樣品于已注入10mL純水的帶蓋的塑料燒杯中,加50mL純水及2滴酚酞指示劑,用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定至溶液微粉紅色,保持30s不褪色。隨樣做空白試驗。
            HF含量以質量分數a計,數值以百分含量(%)表示,按式(1)計算:

            式中:
            V1 一一樣品消耗氫氧化鈉標準滴定溶液的體積的數值,單位為毫升(mL);
            V01一一空白消耗氫氧化鈉標準滴定溶液的體積的數值,單位為毫升(mL);
            c? ?一一氫氧化鈉標準滴定溶液濃度的準確數值,單位為摩爾每升(mol/L);
            0.02001一一與1mL氫氧化鈉標準滴定溶液相當的以克表示的氫氟酸的質量,單位為克每毫升(g/mL);
            m1 一一試樣質量的數值,單位為克(g)。
            兩次平行測定結果之差不大于0.1%,取其算術平均值為測定結果。
            氟化銨(NH4F)含量測定
            稱取適量(精確至0.0001g)樣品于已注入10mL純水的帶蓋的塑料杯中,加40mL中性甲醛溶液,搖勻,靜置30min,用氫氧化鈉標準滴定溶液滴定至粉紅色,保持30s不褪色。隨樣做空白試驗。
            NH4F含量以質量分數b計,數值以百分含量(%)表示,按式(2)計算:

            式中:
            a?? 一一氫氟酸質量分散,百分含量(%);
            V2 一一樣品消耗氫氧化鈉標準滴定溶液的體積的數值,單位為毫升(mL);
            V02一一空白消耗氫氧化鈉標準滴定溶液的體積的數值,單位為毫升(mL);
            c??? 一一氫氧化鈉標準滴定溶液濃度的準確數值,單位為摩爾每升(mol/L);
            0.02001一一與1mL氫氧化鈉標準滴定溶液相當的以克表示的氫氟酸的質量,單位為克每毫升(g/mL);
            m2?? 一一試樣質量的數值,單位為克(g);
            1.85一一換算系數,無單位。
            兩次平行測定結果之差不大于0.1%,取其算術平均值為測定結果。

            自動電位滴定法
            操作步驟
            稱取適量樣品于滴定杯中,精確至0.0001g,加入40mL純水,按照自動電位滴定儀操作規程測定氫氟酸和氟化銨含量。
            兩次平行測定結果相對偏差不大于0.5%,取其算術平均值為測定結果。


            京都電子KEM 自動電位滴定儀 AT-710S
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